Projetos

Na fabricação de semicondutores, mesmo quantidades extremamente pequenas de íons metálicos, impurezas de partículas ou contaminantes orgânicos podem ter consequências catastróficas. Essas impurezas podem alterar os caminhos de transporte de elétrons dentro do chip, aumentar a resistência e levar à geração excessiva de calor e degradação do desempenho. Impurezas também podem causar curtos-circuitos e outros problemas, tornando o chip inoperante. De acordo com pesquisas relevantes, as perdas de rendimento devido a problemas de pureza de reagentes químicos no processo de fabricação de chips podem chegar a 20% a 30%, o que representa, sem dúvida, um desafio significativo para a indústria de semicondutores, que busca alta precisão e alta produtividade.

O papel fundamental das bombas de acionamento magnético

Em todo o processo de fabricação de semicondutores, bombas de acionamento magnético garantem a continuidade do transporte de reagentes químicos. Sua operação contínua e estável garante o fornecimento oportuno dos reagentes químicos necessários para diferentes processos, evitando paradas de produção devido a interrupções no fornecimento de reagentes. Tomando como exemplo o processo de deposição de filmes, é necessário fornecer continuamente gases e reagentes químicos líquidos específicos para a câmara de reação. A operação estável da bomba química garante a continuidade do processo de deposição, permitindo o crescimento uniforme do filme e garantindo as propriedades elétricas e a confiabilidade do chip.

Como um tipo de bomba química altamente popular na indústria de semicondutores, o maior destaque da bomba de acionamento magnético reside em seu design exclusivo, sem selos mecânicos. Ela utiliza um acoplamento magnético para realizar a transmissão de energia, e o eixo da bomba e o eixo do motor interagem entre si por meio de força magnética, sem a necessidade de dispositivos de selagem mecânica tradicionais. Este design totalmente selado é como vestir uma forte "armadura protetora" para reagentes químicos, eliminando fundamentalmente a possibilidade de vazamento do meio. No processo de fabricação de semicondutores, mesmo vazamentos extremamente pequenos podem causar sérios problemas de poluição, e o surgimento das bombas magnéticas resolve perfeitamente esse perigo oculto. No processo de transporte de fotorresiste, a bomba magnética pode garantir que o fotorresiste flua de forma estável em uma tubulação fechada sem qualquer vazamento, garantindo assim a alta pureza do fotorresiste. No transporte de ácido fluorídrico de grau eletrônico de alta pureza, as características totalmente seladas da bomba magnética evitam efetivamente o contato entre o ácido fluorídrico e o ar externo, previnem a volatilização do ácido fluorídrico e os danos ao meio ambiente e ao pessoal que podem ser causados ​​por vazamentos e, ao mesmo tempo, garantem que a pureza do ácido fluorídrico não seja afetada, fornecendo uma garantia confiável para processos de gravação subsequentes.